怎么樣正確選擇水環式真空泵
泵類型的確定
泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。
泵工作時,需要注意以下兩個方面:
盡可能要求在區內,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域內運行。
應避免在大真空度或大排氣壓力附近運行。在此區域內運行,不僅效率極低,而且工作很不穩定,無油雙級節能真空泵服務,易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言,在此區域之內運行,往往還會發生汽蝕現象,產生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作。
根據以上原則,當泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較---量,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,惠州無油雙級節能真空泵,可選用兩級泵。如果真空度要求在-710mmhg以上,可選用水環----泵或水環-羅茨真空機組作為抽真空裝置。
無油真空泵在購買時需要注意什么呢?一般我們在購買的時候不怎么注意無油真空泵的選型,但是這往往會導致后期會產生各種麻煩等等。所以下面我們就來詳細介紹下在選擇無油真空泵時需要注意什么。
1、正確地組合無油真空泵。由于無油真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有---的抽速,但不能抽---,而三極型濺射離子泵,或二極型非對稱陰極濺射離子泵對有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的無油真空泵不能在---壓下工作,需要預真空;有的無油真空泵出口壓強低于---壓,無油雙級節能真空泵企業,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
2、無油真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
在粉塵較多的真空工藝如何選擇真空泵,才能讓真空泵既能夠滿足工藝要求,同時又能夠長期穩定的運行,延長真空泵維修維保時間,節約運行成本,---生產設備的生產效率,---設備產能。
在cvd、pecvd、ald等工藝中,真空腔體會通入各種各樣的工藝氣體來完成產品表面薄膜工藝,這些工藝氣體在反應過程中有時會大量粉塵或容易結晶,如果粉塵和結晶物不能及時排除真空泵外,就容易在真空泵內沉積,堆積到一定量時就會造成真空泵葉輪、轉子等卡滯,無油雙級節能真空泵優,需要及時下機保養和維護,否則的話就會造成真空泵的的損壞,但是干式泵的維護成本又比較昂貴,選擇一臺耐粉塵,維保周期長的真空泵是非常重要的。