沈陽(yáng)東創(chuàng)【節(jié)能】(圖)--線材工藝-陜西-線材

在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是苛刻的。如今12英寸300衄口的硅晶片已制造出來(lái)．而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對(duì)靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒，-線材工藝，這就要求所制造的靶材具有-的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外，薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系-，過(guò)99.995%4n5純度的銅靶，或許能夠滿足半導(dǎo)體廠商0.35pm工藝的需求，但是卻無(wú)法滿足如今0.25um的工藝要求。

以含有氯原子的表橡膠為代表的橡膠組分，用于導(dǎo)電橡膠輥，以允許導(dǎo)電橡膠輥呈離子導(dǎo)電性。該情況下，含有氯原子的橡膠組分具有較高的表面自由能。因此，陜西-線材，含有氯原子的橡膠組分容易粘附于-和用于-的添加劑上。當(dāng)含有氯原子的橡膠組分與離子導(dǎo)電的單體聚合時(shí)，導(dǎo)電輥具有較高的表面自由能并且容易弄濕。因此粘附于導(dǎo)電橡膠輥的-量變得較高。當(dāng)通過(guò)用紫外線照射其表面或者使其暴露于臭氧中，使導(dǎo)電橡膠輥的表面上形成氧化膜時(shí)，導(dǎo)電橡膠輥表面的氧濃度變得較高。