進口真空泵維護與保養：
1.泵及其四周環境應經常保持清潔，防止雜物進入泵內。
2.泵的運轉過程中，油箱內的存油量不得低于油標中心。
3.不同種類和牌號的真空泵油，不可混合使用。
4.泵在使用中，因系統損壞等特殊事故，進氣口突然暴露-時，應盡快停泵，并切斷與系統連接的管道，防止噴油、污染場地。
5.泵由于存放或使用不當，水份或其它揮發性物質進入泵內而影響---真空時，可開氣鎮閥凈化之。當泵油受到機械雜質或化學雜質污染時，應更換泵油二換油步驟如下:先開泵運轉約半小時，使油變稀，進口真空泵，停泵!旋下放油塞，放出臟油，再敞開進氣口運轉1-2分鐘，此間可從進氣口緩緩加入小量清潔的真空泵油，沖洗泵芯。臟油放回后，將放油塞旋上，并擰緊:旋下加油塞，利用漏斗，從加油口加入清潔的真空泵油，旋上加油塞。
6.泵不用時，應用橡皮塞帽，把進、排氣口塞好。以免臟物落入泵內。
真空系統設計要求
1、真空元件，如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯接時，應盡量作到抽氣管路短，管道流導大，導管直徑一般不小于泵口直徑，這是系統設計的一條重要原則。但同時要考慮到安裝和檢修方便。有時為了防振和減少噪音，允許機械泵設置在靠近真空室的泵房內。
2、機械泵(包括羅茨泵)有振動，要防止振動波及整個系統，通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種，不論采用那種軟管要-在-壓力作用下不被壓癟。
3、真空系統建成后，應便于測量和檢漏。生產實際告訴我們，真空系統在工作過程中，經常容易出現漏氣而影響生產。為了迅速找到漏孔，要進行分段檢漏，因此每一個用閥門封閉的區間，至少要有一個測量點，以便測量和檢漏。
真空泵使用壽命不長主要是因為沒有正確的使用和日常沒有注重保養的習慣。
1真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的---真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmhg的真空度，進口真空泵過濾器，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。
2正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmhg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmhg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmhg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmhg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmhg為好。
3真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，進口真空泵濾芯，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有-的抽速，但不能抽---，進口真空泵維修，而三極型濺射離子泵，或二極型非對稱陰極濺射離子泵對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在-壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于-壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
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