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edwards diffstak 160/700p 小型油蒸汽擴散泵 diffstak 160/700p
概述:
緊湊型水冷卻diffstak泵配有集成的冷卻擋板,回流-,漏氣更少,并且安裝所需的橡膠密封件也大大減少,同時還能提供**清潔的泵送系統。
多年依賴,通過數千個泵的安裝,edwards diffstak 160(iso 160進氣口設計已得到-。
這種泵是無閥泵,具有銅制壓縮墊片法蘭。
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愛德華epx 180真空干泵
edwards epx 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用,如灰化/剝離和注入端點 站應用。epx 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能,可實現異常清潔的真空。epx 泵 采用已獲zhuanli的單軸再生 holweck® 分級機構,能夠從-壓抽空到小于 7 x 10-7torr 的---壓力。epx 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能,既可集成到制程工具,可以遠程安裝。重量43.5kg。
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