濕式蝕刻的優缺點
低成本、高-性、高產能及-的蝕刻選擇比。但相對于干式蝕刻，除了無-義較細的線寬外，濕式蝕刻仍有以下的缺點：1)需花費較高成本的反應溶液及去離子水；2)化學---處理時人員所遭遇的安全問題；3)光阻附著性問題；4)氣泡形成及化學蝕刻液無法完全與晶圓表面接觸所造成的不完全及不均勻的蝕刻；5)廢氣及潛在的性。
濕式蝕刻過程可分為三個步驟：1)化學蝕刻液擴散至待蝕刻材料之表面；2)蝕刻液與待蝕刻材料發生化學反應；3)反應后之產物從蝕刻材料之表面擴散至溶液中，并隨溶液排出(3)。三個步驟中進行慢者為速率控制步驟，也就是說該步驟的反應速率即為整個反應之速率。
大部份的蝕刻過程包含了一個或多個化學反應步驟，各種形態的反應都有可能發生，但常遇到的反應是將待蝕刻層表面先予以氧化，再將此氧化層溶解，并隨溶液排出，如此反復進行以達到蝕刻的效果。如蝕刻硅、鋁時即是利用此種化學反應方式。
金屬鋼網蝕刻過程中的物理參數控制稀有金屬蝕刻參數的控制分為通用參數控制及蝕刻方式所決定的其他參數控制。通用參數控制主要是對在蝕刻過程中時間、溫度進行控制；由蝕刻方式所決定的其他參數控制包括侵泡蝕刻的溶液攪拌過程的控制以及噴射蝕刻的噴射壓力的控制。在化學參數可控制的范圍內，物理參數的控制對于維持其蝕刻速度的恒定及蝕刻均勻性是非常重要的。物理參數的控制相對于化學參數的控制來說要容易得多，也直觀得多，同時，一些設備對溫度、時間及噴射壓力都有自控裝置，只需要預先將這些參數輸入即可。
精密蝕刻的步驟是怎么樣的？
關于精密蝕刻工藝相信大家都是不陌生的，因為在各大行業中，精密蝕刻工藝都是很受大家歡迎的，今天小編來教大家，關于精密蝕刻工藝的步驟具體是怎么樣的。步驟1：在材料表面附上感光膠片首先通過攝影技術將部件繪圖轉印及顯影于膠片上，制作出稱為光工具的掩膜。步驟2：uv---將材料---，光線只照到光工具透光區下方的涂層，以便于顯影液對該區的硬化作用。步驟3：化學腐蝕劑蝕刻顯影之后，將酸性蝕刻劑噴至材料表面，或將材料浸于其中。蝕刻劑會將硬化保護層以外的材料溶解，剩下來的部分就是所需的部件形狀。
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