真空等離子腔體分為以下幾種：
石英腔體
不銹鋼腔體
鋁合金腔體
真空等離子清洗機的電源有以下幾種：
40khz中頻電源：主要用于電路板清洗
13.56mhz射頻電源：用于常規(guī)產(chǎn)品的清洗
真空等離子清洗機與傳統(tǒng)清洗方法的優(yōu)勢：
廣東達(dá)因特等離子表面處理機,通過對物體表面進(jìn)行等離子活化處理,可以達(dá)到對物體表面的蝕刻,活化,清洗等目的,通過等離子體用常壓等離子體進(jìn)行表面改性的作用.提高表面附著力.一、 等離子表面處理機原理介紹
等離子體是由帶正電的正粒子、負(fù)粒子其中包括正離子、負(fù)離子、電子、自由基和各種活性基團(tuán)等組成的集合體，其中正電菏和負(fù)電菏電量相等故稱等離子體，是除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外物質(zhì)存在的第四態(tài)－等離子態(tài)。
等離子的自然形式是閃電，或者是南北兩極出現(xiàn)的極光。日食發(fā)生的時候，可以在太陽周-察到一個明亮的光環(huán)日冕，這也是等離子的一種存在形式。隨著能量輸入的增加，物質(zhì)的狀態(tài)會發(fā)生變化，從固態(tài)到液態(tài)，再到氣態(tài)。如果采用放電的方式再向氣體增加能量，氣體將轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體。
材料表面改性方法包括化學(xué)的和物理的方法。通常化學(xué)方法比較繁瑣,且大量應(yīng)用有毒化學(xué)試劑,容易對環(huán)境造成污染,對人體也有-危害。與其相比,低溫等離子體表面處理技術(shù)具有工藝簡單、操作簡便、易于控制、對環(huán)境無污染等優(yōu)點,日益受到人們的-。
低溫等離子體中含有各種活性粒子:電子、粒子,各種激發(fā)態(tài)的原子、分子及自由基等。
在這些活性粒子的作用下,材料的表面性質(zhì)將會發(fā)生改變。等離子體的特點是:(1)它對材料表面的作用-僅數(shù)百埃,不會影響基體材料的性質(zhì);(2)能夠處理各種形狀的表面;(3)有較強的殺菌作用。正是由于低溫等離子體的-性,近幾年在材料表面改性中已經(jīng)引起人們越來越多的注意和興趣。
近十幾年來,低溫等離子體廣泛用于改變金屬材料的表面力學(xué)性能,即材料的磨損、硬度、摩擦、疲勞、耐腐蝕等性能。
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