電池組件-晶體硅電池組件回收-振鑫焱物資回收公司

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刻蝕工藝

刻蝕目的

將硅片邊緣的帶有的磷去除干凈，避免 pn 結(jié)短路造成并聯(lián)電阻降低。

刻蝕原理

采用干法刻蝕。采用高頻輝光放電反應(yīng)， 采用高頻輝光放電反應(yīng)，使反應(yīng)氣體-成活性粒子，如原子或各種游離基，這些活性粒子擴(kuò)散到硅片邊緣，在那里與硅進(jìn)行反應(yīng)，形成揮發(fā)性生成物四-硅而被去除。

化學(xué)公式： cf 4 +sio 2 =sif 4 +co 2

工藝流程

預(yù)抽，主抽，送氣，輝光，抽空，清洗，預(yù)抽，主抽   ，電池組件，充氣。

影響因素

1. 射頻功率

射頻功率過高：等離子體中離子的能量較高會對硅片邊緣造成較大的轟擊損傷，回收二手電池組件，導(dǎo)致邊緣區(qū)域的電性能差從而使電池的性能下降。在結(jié)區(qū)耗盡層造成的損傷會使得結(jié)區(qū)復(fù)合增加。

射頻功率太低：會使等離子體不穩(wěn)定和分布不均勻，從而使某些區(qū)域刻蝕過度而某些區(qū)域刻蝕不足，導(dǎo)致并聯(lián)電阻下降。

2. 時(shí)間

刻蝕時(shí)間過長：刻蝕時(shí)間越長對電池片的正反面造成損傷影響越大，時(shí)間長到一定程度損傷不可避免會延伸到正面結(jié)區(qū)，從而導(dǎo)致?lián)p傷區(qū)域高復(fù)合。

刻蝕時(shí)間過短：刻蝕不充分，沒有把邊緣鱗去干凈， pn 結(jié)依然有可能短路造成并聯(lián)電阻降低。

4.   壓力

壓力越大，氣體含量越少，參與反應(yīng)的氣體也越多，刻蝕也越充份。

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國際性鋰電池回收現(xiàn)行政策 

1991年歐洲共同體施行實(shí)施充電電池命令91/157/eec，并隨之充電電池產(chǎn)業(yè)鏈的迅速發(fā)展趨勢和環(huán)境保護(hù)規(guī)定的不斷提升，前后左右2次修定并各自頒布了充電電池命令93/86/eec和98/101/eec。2006年歐洲共同體公布鋰電池回收新命令2006/66/ec，要求其理事國鋰電池回收再運(yùn)用總體目標(biāo)在2016年9月26日以前充電電池綜合性利用率超過45%，工業(yè)生產(chǎn)充電電池保持100%收購；后于2008年填補(bǔ)公布了廢料架構(gòu)命令2008/98/ec，對廢舊電池類型深化細(xì)分化，確立鋰電池回收等級。

1993年日本國修定《節(jié)能法》并一起施行《再生能源法》合理布局鋰電池回收；于2000年-部門實(shí)施“3r”方案recycling/reuse/reduce，明確規(guī)定創(chuàng)建充電電池“循環(huán)系統(tǒng)-再運(yùn)用”收購系統(tǒng)軟件。1991年和1994年英國陸續(xù)創(chuàng)立手持式充電鋰電池研究會prba充電電池和充電鋰電池回收商pbrc，并制訂生態(tài)環(huán)境保護(hù)規(guī)范輔助鋰電池回收。