無(wú)塵車(chē)間按照等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)，主要可以分為百級(jí)無(wú)塵車(chē)間、千級(jí)無(wú)塵車(chē)間、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間、十萬(wàn)無(wú)塵車(chē)間等好幾種等級(jí)，那么你知道什么叫千級(jí)無(wú)塵車(chē)間嗎?
微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)級(jí)別中的千級(jí)無(wú)塵車(chē)間。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于a1級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。裝配式無(wú)塵車(chē)間廠房的全部維修工廠內(nèi)按統(tǒng)一模數(shù)及系列加工完成。
無(wú)塵車(chē)間要控制相對(duì)濕度，以下幾個(gè)影響因素也是關(guān)鍵：
金屬腐蝕：很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增1高而加快。所有暴露在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室周?chē)諝庵械谋砻娑己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。
水汽冷凝：在相對(duì)濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)——?jiǎng)P爾文濃縮——當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。 所以必須要對(duì)無(wú)塵車(chē)間相對(duì)濕度控制。
光刻的退化：這在半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度-敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是嚴(yán)格的水準(zhǔn)。實(shí)際應(yīng)用上，相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精1確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。甚至是在恒溫條件下，光刻膠的粘性將隨著相對(duì)濕度的上升而迅速下降。當(dāng)然，生物醫(yī)藥潔凈多少錢(qián)，改變粘性，就會(huì)改變由固定組分涂層形成的保護(hù)膜的厚度。
還有就是吸水性，生物醫(yī)藥潔凈施工，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對(duì)濕度的負(fù)1面影響；較低的相對(duì)濕度(約30%)使光刻膠附著容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲1基二硅氮烷(hmds)。
無(wú)塵車(chē)間的節(jié)能改造處理 現(xiàn)代社會(huì)，節(jié)能兩字是十分博人眼球，很能捉住人們的-，而且都能欣然接受的�？墒�，無(wú)塵車(chē)間也有屬于自個(gè)的節(jié)能方法。
1、雙溫度冷凍循環(huán)：冷凍體系一般規(guī)劃成能夠承受1大負(fù)荷，不論1大負(fù)荷發(fā)生得是不是頻頻。流程中處于冷凍循環(huán)的冷凍水溫度，是由一切負(fù)荷中只占一小部分的極點(diǎn)熱負(fù)荷來(lái)斷定，這僅僅許多狀況中的一兩種。這會(huì)形成冷凍才能過(guò)剩，在負(fù)荷缺乏的狀況下功率低下。
2、變速驅(qū)動(dòng)的冷凍機(jī)：變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)能夠省去許多的能量和金錢(qián)，在采購(gòu)新冷凍機(jī)的時(shí)分，指1定采購(gòu)變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)是-的。用變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)可下降能耗，一起讓別的冷凍機(jī)-性運(yùn)轉(zhuǎn)。許多---的觀念都以為，生物醫(yī)藥潔凈報(bào)價(jià)，變速驅(qū)動(dòng)冷凍機(jī)的效果是極1好的。
3、馬達(dá)功率：無(wú)塵車(chē)間的電能大多數(shù)都是由馬達(dá)耗費(fèi)的，適當(dāng)?shù)剡M(jìn)步功率、適當(dāng)?shù)卣{(diào)理尺度，臺(tái)州生物醫(yī)藥潔凈，在翻新后，經(jīng)濟(jì)效果多半是-的。功率添加幾個(gè)百分點(diǎn)，贏利就會(huì)相應(yīng)添加。優(yōu)異---的馬達(dá)，紛歧定會(huì)花費(fèi)太多。高功率意味著1小，在改動(dòng)馬達(dá)的尺度之前先盡量減小負(fù)荷。在輸出質(zhì)變化時(shí)，使用變速驅(qū)動(dòng)能夠進(jìn)步操作功率。
4、換氣次數(shù)：許多無(wú)塵車(chē)間凈化工程都通過(guò)維持空氣流量來(lái)堅(jiān)持清潔度和顆粒數(shù)。在堅(jiān)持潔凈度的前提下，空氣流速的下降能夠下降締1造及能耗本錢(qián)。換氣次數(shù)下降20%就能夠使風(fēng)機(jī)的尺度下降50%�？諝鉂崈舳缺裙�(jié)省能耗更主要，可是1新的研究成果已經(jīng)有下降潔凈本錢(qián)的記載了。
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