半導體壓電阻型
半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力,通過外力壓力使薄片變形而產生壓電阻抗效果,數顯壓力變送器,從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型靜電容量型壓力傳感器,是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,將通過外力壓力使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。 e8y的動作原理便是靜電容量方式,其他機種采用半導體方式。
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