真空泵維修中漏油常見故障之一，主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，其主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，真空泵維修，密封失效，從而導致漏油。油窗漏油，是因為真空泵使用時間過長而使油窗老化，引起，旋片真空泵維修，或油窗與油箱的粘合劑老化失效，從而導致泵油滲出;電機軸上有前油封和后油封兩個油封，任何一個老化失效都回引起漏油;油箱通過適配器與電機相連，油箱與適配器的結合處有一個密封圈，起到油箱的密封作用，如果它老化同樣可以引起真空泵漏油。另外，在適配器上還有一個毛氈墊，它起回收泵油的作用，如果它吸油已滿，真空泵也會發生滲油。
真空泵維修解決漏油的辦法是更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊。維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，保持油箱的清潔。
彈簧損壞，使旋片受力不勻;裝配不當，使某局部受力;由于進氣日的濾網丟失或損壞，使外部臟物，金屬屑、玻璃屑等落入泵腔內。此外，泵轉子、旋片端面與端蓋間的間隙過小，摩擦-使旋片伸長或過熱過緊的摩擦加之旋片硬度過大，使端面產生深劃痕，后燒結卡死。當軸和軸套配合過緊時，再加滑潤油路不通暢，也會因互相粘碾卡死。??真空泵長時間不用，泵腔內生銹;泵在濕度較大的環境下運轉或抽除潮濕氣體，使泵油變成乳濁液或泵油結垢甚至結殼;泵油粘度過大(冬天);轉子在啟動瞬間被打裂;有些泵的高、低真空室氣道上有半圓槽，其上橡皮板被壓得太緊，堵死了中間氣逆通路等等，均易使泵卡死。這種毛病常常是很危險的，因在卡死瞬間，由于轉子使電動機超負荷或轉不動，易使電機燒毀。即使不燒電機，如不及早停機修理，則會輾壞泵腔，打壞旋片，扭壞轉子，羅茨真空泵維修，燒壞端面等。
有害空間的存在也會升高真空泵的-壓力。有害空間是指真空泵的轉子與定子在定子內腔頂端的接觸點到排氣口之間的空間，這個空間內的氣體在循環終結時，難以從排氣口派出。在旋片繼續旋轉的壓縮作用下，會從接觸點的間隙溢出，從頂點溢出的氣體進入吸氣腔，從而升高真空泵的-壓力。可以通過對有害空間填充油液或者在該空間的側板上開導氣槽在自潤滑的干式泵中采用來解決。
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