其中一束光線透過測試片，可見光透射率測試儀，稱為測量光束;另一束透過空氣，稱作參考光束。這兩束光分別用兩只相同的光電探測器接收后直接比較而得到透射率，或者只用一只探測器，交替的對兩束光檢測并進行比較，以得到樣品的透射率。透射率測試儀
參考光強和測量光強由轉換成相同形狀的電信號后經過檢波，將參考電信號和測量電信號分開并進行放大、比較，后把比率按波長坐標在記錄儀上記錄下來，便可得到光譜透射率曲線。透射率測試儀
同其它的許多光學方法一樣，透射光譜法測量薄膜均是非接觸性的，因而幾乎不會損傷薄膜的表面或改變薄膜的表面結構。對被測對象所處的環境條件要求也不苛刻，測試環境可以在空氣、真空或特定條件下，-是對于那些在電場、磁場及其它電子檢測手段無法應用的場合，采用透射光譜法是很方便的。這也正是該方法成為實驗室和工業生產中薄膜監控和檢測手段之一的原因。此外，該方法的工作波長幾乎不受---，可根據實際情況恰當選擇，透射率測試儀，這就使遠紫外和真空紫外區薄膜光學常數的測量成為可能。透射率測試儀
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