leybold萊寶真空泵主要型號(hào)leybold萊寶真空泵主要型號(hào):
sogevac系列單級(jí)油封璇片真空泵：sv10 sv16 sv25 sv40 sv65 sv100 sv200 sv300 sv500 sv580 sv630 sv750 sv1200
trlvac c系列雙級(jí)油封璇片泵：d2 d4 d8 d9 d16 d25 d30 d40 d60 d65 d90
ruvac系列羅茨泵：wa/wau 150/151/250/251/500/501/1000/1001/2000/2001
德國leybold萊寶真空泵性能參數(shù)德國leybold萊寶真空泵性能參數(shù):
抽速：16m 3 /h---1400m 3 /h
---真空度：sv16，sv25，sv40，sv65，愛德華e2m30真空泵銷售，sv100的---真空度為<0.5 mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<1.5 mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
sv200，sv300，sv500，愛德華e2m275真空泵銷售，sv630，sv750，sv1200，sv1400的---真空度為
<8*10 -2 mbar (無氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<7*10 -1 mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
排水蒸氣能力：0.3--23公斤/小時(shí)
目前---的羅茨泵，多數(shù)為臥式結(jié)構(gòu)，泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下，愛德華e2m40真空泵銷售，這種臥式結(jié)構(gòu)重
泵的傳動(dòng)多為直聯(lián)式的，大泵則有皮帶傳動(dòng)的。電動(dòng)機(jī)與傳動(dòng)齒輪，多設(shè)在轉(zhuǎn)子軸的兩側(cè)，安裝拆卸方便。主動(dòng)軸傳遞的扭矩較大，綿陽真空泵銷售，軸要有足夠的強(qiáng)度和剛度，軸與轉(zhuǎn)子要固結(jié)牢靠。羅茨泵的密封很關(guān)鍵，主動(dòng)軸外伸部分、兩個(gè)轉(zhuǎn)子的軸承與泵腔之間設(shè)有動(dòng)密封，泵腔與各端蓋設(shè)有靜密封。
分子泵
分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和lcvd等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又---了膜層。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。
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