合理的設計凈化車間對其凈化效果有著很重要的作用。 一、布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區內只布置-的工藝設備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。二、在滿足生產工藝要求的前提下,空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區宜靠近空氣調節機房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置,福州車間潔凈室,靠近潔凈區人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。
相對濕度在35%-40%之間能夠作為一個令人滿意的折中,半導體無塵車間、潔凈室一般都運用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學反響的速度,包含腐蝕的進程,將跟著相對濕度的zeng高而加速。一切暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的外表都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時,高濕度能夠使反響加速。幸運的是,一些金屬,例如鋁,能夠與水構成一層維護形的氧化物,并阻止進一步的氧化反響;但另一種情況是,例如氧化銅,是不具有維護才能的,因而,在高濕度的環境中,銅制外表更容易遭到腐蝕。