同時，人們把另一類氣相沉積，即通過高溫加熱金屬或金屬化合物蒸發成氣相，或者通過電子、等離子體、光子等荷能粒子的能量把金屬或化合物靶濺射出相應的原子、離子、分子(氣態)，在固體表面上沉積成固相膜，其中不涉及到物質的化學反應(分解或化合)，稱為物---相沉積pvd)。
隨著氣相沉積技術的發展和應用，上述兩類型氣相沉積各自都有新的技術內容，鍍膜設備，兩者相互交叉，你中有我，我中有你，致使難以嚴格分清是化學的還是物理的。
pcvd的工藝裝置由沉積室、反應物輸送系統、放電電源、真空系統及檢測系統組成。氣源需用氣體凈化器除往水分和其它雜質，經調節裝置得到所需要的流量，再與源物質同時被送進沉積室，在一定溫度和等離子體等條件下，得到所需的產物，并沉積在工件或基片表面。所以，pcvd工藝既包括等離子體物理過程，鏡片鍍膜設備，又包括等離子體化學反應過程。
鍍膜機工藝在裝飾品方面的運用跟著經濟的開展和生活水平的進步，眼鏡鍍膜設備，大家喜愛將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室表里裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五光十色。
鍍膜技能在飛機防護涂層方面的運用飛機的鈦合金緊固件，原來選用電鍍辦法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫，真空鍍膜設備廠家，所以在飛翔進程中，遭到---、海水的腐蝕，鍍層上簡單發生鎘脆，甚至導致---。1964年，選用離子鍍辦法在鈦合金緊固件上鍍鋁，處理了飛機零件的鎘脆疑問。在離子鍍技能中，因為給工件施加負偏壓，能夠構成偽分散層、細化膜層安排，因而能夠---進步膜層的耐腐蝕功能。
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