在實(shí)際施工中,凈化項(xiàng)目通常分為,分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是,易于進(jìn)行多塵和無塵的交叉操作,應(yīng)盡可能避免這種結(jié)構(gòu)布置。 如果不可避免,應(yīng)該防止灰塵和有效清潔。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
凈化工程的一步的關(guān)鍵是設(shè)計,工程設(shè)計水平的好與壞將直接關(guān)系到整個工程之后的施工,還會影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、-性、經(jīng)濟(jì)性。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,室內(nèi)凈化工程,同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。
凈化工程中平面位置安裝基準(zhǔn)線對基礎(chǔ)實(shí)際軸線允許偏差不得超過圖紙要求。安裝時,設(shè)備的連接管口與其開口的地方的封閉不能拆掉,以免雜物進(jìn)入到設(shè)備內(nèi)部。檢查設(shè)備不應(yīng)有缺件,損壞和銹蝕現(xiàn)象。設(shè)備的單車試車,試車前,電的儀器及保護(hù)連鎖應(yīng)具備使用條件,安徽凈化工程,水冷系統(tǒng)應(yīng)符合要求。試車中,關(guān)鍵的是按照設(shè)計要求檢查溫度,壓力,實(shí)驗(yàn)室凈化工程,震動三個的安裝標(biāo)準(zhǔn),單機(jī)試車中必須達(dá)到試車要求。試車結(jié)束后應(yīng)及時完成下列工作:斷開動力電源,拆除試車的臨時設(shè)備,整理試車運(yùn)轉(zhuǎn)記錄。