蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。有的真空泵不能在---壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于---壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)式真空泵得到廣泛的應(yīng)用。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封---，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，按電動機標(biāo)牌規(guī)定連接電源，并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵，真空泵配件，按規(guī)定接通冷卻水。
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，上海真空泵，泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。
蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華或蒸發(fā)而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，真空泵維修，裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。了解被抽氣體成分，真空泵價格，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。
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