真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，滑閥真空泵，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。由于加強了對煤礦的安全要求，因而用水環真空泵，-是大型水環真空泵抽除氣體已成為煤礦行業必須的安全要求，真空度低，汽車真空泵，這不僅是因為受到結構上的---，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的---。用水作工作液，---壓強只能達到2000~4000pa。
蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華或蒸發而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。有的真空泵不能在-壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于-壓，需要前級泵，西藏真空泵，故都需要把泵組合起來使用。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從-到真空有一個很大的范圍，蒸發離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華或蒸發而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實現抽氣的一種真空泵。隨著真空技術在應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，
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