石墨舟推舟系統：石墨舟推舟系統采用軟著陸的方式，即將石墨舟放到反應管內部后，石墨舟推舟機構將退出，自動門關上。載片舟是經特殊設計，在x軸、y軸、z軸三個方向可微調，再經精加工而成。它直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結構有關，石墨零件銷售，所以推舟系統是本設備的---部件。 管式pecvd系統：即使用像擴散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，石墨零件設計，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟---石英管中進行沉積。
石墨舟就是石墨模具，可以把我們需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫燒結成型。石墨模具
是選用人造石墨經機械加工而成的。所以石墨模具有時成為石墨舟，也有稱為石墨船的。
以156-21片石墨舟為例，石墨零件生產，檢驗標準有以下12個要點：
1.舟片厚度要求2.5±0.02mm，表面不應有劃痕、擦傷等損傷零件表面的缺點。
2.石墨配件裝配面平行度控制在0.2mm，厚度24.5±0.02mm
3.陶瓷管高度11±0.01mm，配面平行度控制在0.01mm
4.陶瓷螺桿、石墨螺桿的直線度---在0.1mm。螺紋部分需用螺紋規檢測。
石墨熱導率介于鋁和軟鋼之間。材料一般是比電阻越低其熱導率越高，對熱處理溫度2600度以上的什么材料。體密度和比電阻的關系說明體密度對熱導率的影響。
石墨電極和作為結構材料的石墨制品，惠州石墨零件，其抗熱震性能對使用的影響，已為人們所---，決定抗熱震因子的熱導率，抗拉強度，楊氏模量，熱膨脹系數等指標。都與制品的體積密度密切相關。并且隨著體積密度提高而增大。因此提出“合適體密度”問題。選取“合適體密度”要根據產品使用條件。對于不同原料、不同工藝生產出的制品，其“合適的體密度”將有所不同。
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