傳感器動態響應好:電感式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10(-5)n),需要的作用能量很小,又由于它的可動部分可以做得很小很薄,遠距離漫反射型光電傳感器,即很輕,因此其固有頻率---,動態響應時間短,能在幾兆赫茲的頻率下工作,---適用于動態測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電,小型遠距離檢測型光電傳感器,因此系統工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數。
可以非接觸測量且靈敏度高:非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應,可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。