硅片高速減薄機(jī)特點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。
2.減薄,led藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。
3.系列研磨機(jī)采用cnc程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。
1磨盤(pán)主軸系統(tǒng)
a 類(lèi)型:滾子軸承
b 電機(jī):ac 伺服電機(jī)(3.0kw)
c 砂輪規(guī)格:ф200mm
2) 工件盤(pán)主軸系統(tǒng)
a) 類(lèi)型:滾子軸承
b) 電機(jī):齒輪電機(jī)0.75kw
3) 進(jìn)給系統(tǒng)
a) 類(lèi)型:combination of ball serve&lm guide
b) 電機(jī):微步進(jìn)給電機(jī)
c) 控制:0.1μm control by linear scale feedback
4) 控制系統(tǒng)plc
a) 制造商:parker hannifin co.
b) 控制器:sx indexer/drive
c) 顯示系統(tǒng):eason 900
5) 輔助設(shè)備
a) 電源:220v,50hz,3相,5kw
b) 氣壓:5.5-6kgf/cm2 (0.55-0.6mpa)
c) 離心分離機(jī):sludge free(sf100)(選配件)
d) 水箱容量:200l
e) 冷凝器:0.5kw
f) 過(guò)濾裝置:20μm,10μm cartridge filter
6) 尺寸及重量
設(shè)備尺寸:1,100(w) x 950(d) x 1,韓國(guó)減薄砂輪加工,976(h)
設(shè)備重量:1,400kg
主要用途:
非常適合于工件硬度比較高,厚度超薄,且加工精度要求高的產(chǎn)品。如: led藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
1.本系列橫向研磨機(jī)為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動(dòng)。該方法磨削阻力小、工件不會(huì)破損,而且磨削均勻生產(chǎn)。
點(diǎn):
1.可使工件加工厚度減薄到0. 02m厚而不會(huì)破碎。而且平行度與平面度可控制在+ 0.002m范圍內(nèi)。
2.減薄; led藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um o硅片每分鐘可減薄250um o
3.系列研磨機(jī)采用cnc程控系統(tǒng),觸摸屏操作面板。