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后來發現了應變計,-是隨著微電子的技術發展,利用半導體材料的壓阻效應和彈性與集成電路工藝,研制出了半導體力和壓力傳感器,使這類傳感器有了長足的進步。普遍應用的力敏傳感器有電阻式、壓電式、電容式、變磁阻式、光纖式等。近幾年又發展了聲表面波壓力傳感器、磁致伸縮型壓力傳感器、電位式壓力傳感器等電氣傳感器。
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熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測量溫度及與溫度有關的參數。在溫度檢測精度要求比較高的場合,這種傳感器比較適用。較為廣泛的熱電阻材料為鉑、銅、鎳等,它們具有電阻溫度系數大、線性好、性能穩定、使用溫度范圍寬、加工容易等特點。用于測量-200℃~+500℃范圍內的溫度。熱電阻傳感器分類:
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力敏元件及傳感器廣泛用于各工業生產部門和科學實驗研究中。力敏元件及傳感器品種規格繁多,可以按不同的方法進行分類,記錄儀,傳統的、測量力的方法是利用彈性元件的形變和位移來表示的,其特點是成本低、不需要電源,但體積大、笨重、輸出為非電量。
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