振鑫焱光伏科技有限公司常年采購:-回收硅片,光伏電池板,電池片,初級多晶硅,銀漿布,單晶硅,多晶硅,太陽能電池,光伏組件,太陽能電池板,客戶撤退,降級,庫存,el,-測試,二手,舊,工程,拆卸,路燈,拆解電站,拆卸,膠合板,層壓板,無邊界晶體硅,多晶硅,單晶硅,實驗板,-償還,返工,光伏模塊回收等。
影響因素
1 .頻率
射頻 pecvd 系統大都采用 50khz~13.56 mhz 的工業(yè)頻段射頻電源。較高頻率 >;4mhz 沉積的氮化硅薄膜具有-的鈍化效果和穩(wěn)定性。
2 .射頻功率
增加 rf 功率通常會- sin 膜的。但是,功率密度不宜過大,超過 1w/cm2 時器件會造成-的射頻損傷。
3 .襯底溫度
pecvd 膜的沉積溫度一般為 250 ~ 400 ℃ 。這樣能-氮化硅薄膜在hf 中有足夠低的腐蝕速率,并有較低的本征壓力,從而有-的熱穩(wěn)定性和抗裂能力。低于 200 ℃ 下沉積的氮化硅膜,本征應力很大且為張應力,而溫度高于 450 ℃ 時膜容易龜裂。
4 .氣體流量
影響氮化硅膜沉積速率的主要氣體是 sih4 。為了防止富硅膜,選擇nh3/sih4=2~20 體積比。氣體總流量直接影響沉積的均勻性。為了防止反應區(qū)下游反應氣體因耗盡而降低沉積速率,通常采用較大的氣體總流量,以-沉積的均勻性。
5 .反應氣體濃度
sih4 的百分比濃度及 sih4/nh3 流量比,對沉積速率、氮化硅膜的組分及物化性質均有重大影響。
理想 si3n4 的 si/n = 0.75 ,而 pecvd 沉積的氮化硅的化學計量比會隨工藝不同而變化,但多為富硅膜,可寫成 sin 。因此,必須控制氣體中的 sih4 濃度,不宜過高,并采用較高的 sin 比。除了 si 和 n 外, pecvd 的氮化硅一般還包含一定比例的氫原子,即 sixnyhz 或 sinx :h 。
6 .反應壓力、和反應室尺寸 等都是影響氮化硅薄膜的性能工藝參數。
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電池片流程
1、 車間段位構成
whq :硅片為太陽能電池片的載體,硅片的決定了電池片的轉換效率。而該工序則是對硅片的來料檢測,主要是包括厚度, ttv ,電阻率,外觀 破片,缺角,孔洞,臟污
需注意 :
1) 切割方向會厚薄不均,放片時需 180 度錯落放置以-放入載體厚薄均勻,切割方向需要垂直與印刷 細 柵方向,預防水波紋出現。
2) 線痕: 單線痕
密集線痕
3 原硅片因切割后因有清洗所以會有粘度導致原硅片粘連,放置時需輕微搖晃。
制絨: 目的:去除表面損傷層,對表面進行凹凸處理 ,清楚表面硅酸鈉,氧化物,油污以及金屬。以提高光電轉換率。
需注意 :
減重 ,活性不均勻會影響到后面 pevcd 工序使硅片出現問題制絨過程中, 制絨面朝下,裝入載體,載體單孔面為制絨面。在制品時間為兩小時,兩小時內要及時送入下一工序。
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絲網印刷
基本原理
基本原理:利用網版圖文部分網孔透墨,非圖文部分網孔不透墨的基本原理進行印刷。印刷時在網版上加入漿料,刮膠對網版施加一定壓力,同時朝網版另一端移動。漿料在移動中從網孔中擠壓到承印物上,由于粘性作用而固著在一定范圍之內。由于網版與承印物之間保持一定的間隙,網版通過自身的張力產生對刮膠的回彈力,使網版與承印物只呈移動式線接觸,而其它部分與承印物為脫離狀態(tài),漿料與絲網發(fā)生斷裂運動,-了印刷尺寸精度。刮膠刮過整個版面后抬起,同時網版也抬起,并通過回墨刀將漿料輕刮回初始位置,完成一個印刷行程。
絲網結構
網版,刮膠,漿料,印刷臺,承印物
漿料體系
銀鋁漿:背面導體,作為背電極,提供可焊性。
鋁漿:背面導體,作為背面電場,收集電流。
銀漿:正面導體,作為正電極,收集電荷。