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操作便捷
為了滿足各種常規檢查的要求,al120可以登記多達10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速選擇按鈕則可以讓操作員---切換不同程序。
晶圓搬送機的菜單設置和設置參數都會在新型的lcd顯示器上顯示。使用recall按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應slot,便于操作者再次確認。
al120使用非接觸光學定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
高度---性
優先考慮晶圓和操作者的安全
為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設計。
在安全性和人機工學上通過了semis2/s8檢測,同時,在環境保護方面遵守了rohs指令。
堅固、---的顯微鏡底座
al120搭載奧林巴斯mx晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉dic、近ir近紅外線和duv深紫外線,實現了---的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優化各物鏡的照明和對比度。如果---訂制,al120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。
人機工程學設計的載物臺
手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標準功能為xy軸控制和晶圓旋轉功能。
可通過預編程的程序控制電動載物臺,進一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅動載物臺返回或離開load/unload位置及---位置。
進口工業顯微鏡
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