半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，pecvd，真空干法刻蝕， 真空吸附，測試設(shè)備，往復(fù)真空泵，真空清掃等等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生以及有毒的物質(zhì)氣體，會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此，半導(dǎo)體水環(huán)真空泵應(yīng)用時需要注意的幾個安全事項(xiàng)： 1、定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓：
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時，往復(fù)真空泵配件，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵，無油往復(fù)真空泵活塞，其成分可能-復(fù)雜，如sih4與o2在泵口形成sio2，ticl4水解會形成hcl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也。所以需要及時的清洗，并在-的時候設(shè)置過濾設(shè)備。。
水環(huán)式真空泵主要是進(jìn)行井下沼氣抽放的設(shè)備因此它安裝布局一般集中在主體設(shè)備上，所以對于它的管路安裝是非常重要的，下面就給大家介紹一下設(shè)備的管路安裝的重要性： 1、從它使用的情況來看，安裝的地方主要集中在主體設(shè)備的布局，管路安裝的密封性等，只要這些工作都能按照正確的步驟進(jìn)行，那對于它的使用是一個基礎(chǔ)性的保障。 2、加強(qiáng)管路及各連接處的安裝是對真空泵大的幫助，這是它得以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行的標(biāo)志，也是通過這些細(xì)小的安裝工作，才體現(xiàn)出真空泵的使用度。 3、如果出現(xiàn)泄漏等問題，應(yīng)及時將管路進(jìn)行檢查，看是否是密封造成的問題，及時的將其進(jìn)行修理，穩(wěn)定真空泵的運(yùn)行情況。 4、通過運(yùn)行平穩(wěn)的證實(shí)，立式往復(fù)真空泵，也就說明正確的安裝及-的密封性，更為生產(chǎn)過程增添了有利因素。 5、往往在安裝和調(diào)試過程中管路也是非常重要的，其密封性是否-關(guān)系到整套設(shè)備的運(yùn)行，如果出現(xiàn)安裝中不能-的密封可能會導(dǎo)致有異物或是其它原因使泵發(fā)生故障。 6、所以說水環(huán)式真空泵的管路連接也是比較重要的一項(xiàng)工作，在采用管路材質(zhì)及各類閥門時一定要按照使用說明進(jìn)行，將各管路的連接點(diǎn)做好-地密封，使其能夠達(dá)到相應(yīng)的范圍內(nèi)。 只要安裝好水環(huán)式真空泵的管路，才可以說設(shè)備是真的安裝完成了，如果安裝不好那么在工作過程中會發(fā)生泄漏、炸裂，這樣一來給企業(yè)帶來很大的財(cái)產(chǎn)傷害，所以我們一定要遵守安裝步驟。
真空負(fù)壓站軸承體的作用
真空負(fù)壓站是以二臺水環(huán)真空泵作為真空獲得設(shè)備，對于整個設(shè)備來說軸承體是非常重要的，如果沒有這個元件可以設(shè)備都無法進(jìn)行運(yùn)行，到底元件在設(shè)備里是以什么樣子存在的呢？下面就給大家介紹 一下設(shè)備軸承體的作用： 1、軸上設(shè)有軸肩，這樣是為了方便軸承拆裝。 2、徑向軸承在泵及電機(jī)端，阻止推軸承在電機(jī)端。 3、由于真空負(fù)壓站無相進(jìn)行對位移，油封完全屬于正常工作。 4、軸承體可通過螺栓及調(diào)節(jié)螺栓調(diào)節(jié)，隨意的在懸架內(nèi)水平移動。 5、它的軸承體可在懸架內(nèi)移動，但是軸承內(nèi)、外環(huán)是無法進(jìn)行相對位移。 由此可知軸承體在真空負(fù)壓站起到調(diào)節(jié)作用，可以通過它來調(diào)節(jié)一些設(shè)備參數(shù)，從而達(dá)到設(shè)備的預(yù)想要求，也是設(shè)備高能率的基礎(chǔ)，所以說我們在日常生活中要做好保養(yǎng)和維護(hù)，防止設(shè)-到傷害。
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