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產品配置：
★樣片數量及尺寸： 1片φ8英寸或5片φ4英寸或傘形工件架用戶定制
★蒸發材料：金屬；非金屬；化合物等薄膜材料。
★蒸發腔體：高真空系統。
★蒸發不均勻性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋轉，轉速可調
★加熱：常規加熱
★電子槍：e型，帶xy偏轉掃描
★電子槍坩堝：6穴，17cc
★膜厚監控功能：石英晶控膜厚在線監測與終點控制
★清洗功能：可選配離子源清洗
★器件一次成型復合實驗系統：通過復合mask系統與樣品對準系統，一次完成器件的多個工藝步驟
★檢測與控制光學特性的功能：可選配光控儀
★操作模式：全自動+半自動控制
以下內容由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供，希望對同行業的朋友有所幫助。
★ 完全封閉的系統框架設計，外觀更漂亮，使用更安全；是一臺---美學和用戶操控體驗的全新升級產品；
★ 前開門真空腔體，方便取放基片、添加蒸發材料以及真空室的日常維護；
★ 可定制一體化高的精度刻蝕掩膜板；基片臺公轉，轉速0～25rpm連續可調；平板基底襯底可選擇加熱或水冷；
★ ---的薄膜均勻性和重復性，采用進口膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚；
★ 可沉積金屬au，上海高真空電子束鍍膜機， ag， al， ti，高真空電子束鍍膜機公司， pt， mo， fe， cr， ni等、化合物ito等及有機物材料進口電子槍。
1、烘烤照明系統1套。烘烤溫度：室溫-150℃。在10-4pa時，真空室內殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強下進行蒸鍍，實際上相當于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，高真空電子束鍍膜機廠家，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層的一種可行辦法。
2、電控柜：標準電控柜，組裝總控制電源、真空系統控制分子泵、機械泵電源、擋板等、數顯真空計等。柜底下配腳輪，高真空電子束鍍膜機，方便移動、定位。
3、手動按鈕式操作，備留機電轉換及控制接口，方便實驗記錄.
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