1、鍍鋁時薄膜出現孔洞
原因:
蒸騰舟內鋁料太滿。解決方法:下降送鋁速度;進步蒸騰舟電流。
真空室內蒸騰舟之間呈現短路。解決方法:掃除短路。
真空室內雜質飛濺
2、鍍鋁時薄膜出現拉伸現象
基材張力太大。解決方法:調節放卷、卷取張力操控體系,恰當削減張力。
冷卻體系工作異常。解決方法:查看冷卻體系,并掃除故障。
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