ecopia科研用小型熱蒸發鍍膜機 - 極-
型號：ap-mte1
產地：韓國進口
1/ 沉積材料：金屬；
2/ 膜厚均勻性：≤ &plun; 5 % (4英寸基底)；
3/ 沉積方式：熱蒸發舟；
4/ -真空：5.0 x 10
技術規格：
1/ 樣品尺寸：4英寸；
2/ 基底旋轉：0~10rpm；
3/ 不銹鋼腔體，id250 x h300 mm；
4/ 真空泵：機械泵，150l/min；擴散泵，215l/sec；
5/ 薄膜厚度監控：石英振蕩傳感器實時厚度控制；
6/ 厚度精度：0.5%；
7/ 熱蒸發源：4英寸熱蒸發舟，交流電源；
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