光刻膠必須滿足幾個硬性指標要求：高靈敏度，高對比度，好的蝕刻阻抗性，高分辨力，易于處理，高純度，長壽命周期，低溶解度，低成本和比較高的玻璃化轉換溫度tg。主要的兩個性能是靈敏度和分辨力。
感光膠的主要成分是樹脂或基體材料、感光化合物以及可控制光刻膠機械性能并使其保持液體狀態的溶劑。樹脂在---過程中改變分子結構。感光化合物控制樹脂定相的化學反應速度。溶劑使得膠能在圓片上旋轉擦敷并形成薄瞙。沒有感光化合物的光刻膠稱為單成分膠或單成分系統，有一種感光劑的情形下，稱為二成分系統。因為溶劑和其他添加物不與膠的感光反應發生直接關系，它們不計入膠的成分。
在---過程中，正性膠通過感光化學反應，切斷樹脂聚合體主鏈和從鏈之間的聯系，達到削弱聚合體的目的，所以---后的光刻膠在隨后顯影處理中溶解度升高。---后的光刻膠溶解速度幾乎是未---的光刻膠溶解速度的10倍。而負性膠，在感光反應過程中主鏈的隨機十字鏈接更為緊密，并且從鏈下墜物增長，所以聚合體的溶解度降低。見正性膠在---區間顯影，玻璃光刻膠廠家，負性膠則相反。負性膠由于---區間得到保留，玻璃光刻膠，漫射形成的輪廓使顯---的圖像為上寬下窄的圖像，而正性膠相反，為下寬上窄的圖像。
樹脂:光刻樹脂是一種惰性的聚合物基質 ，是用來將其他材料聚合在一-起的粘合劑。 光刻膠的粘附性、膠膜厚度等都是樹脂給的。
感光劑:感光劑是光刻膠的-部分，他對光形式的輻射能，-在紫外區會發生反應。---時間、光源所發射光線的強，度都根據感光劑的特性選擇決定的。
溶劑:光刻膠中容量較大的成分，感光劑和添加劑都是固體物質，為了方便均勻的涂覆，要將他們加入溶劑進行溶解，玻璃光刻膠生產廠家，形成液態物質，并且使之具有-的流動性，玻璃光刻膠供應商，可以通過選擇方式涂布在waf er表面。
添加劑:用以改變光刻膠的某些特性，如---光刻膠發生反射而添加染色劑。
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劃分光刻膠的一個基本的類別是它的極性。光刻膠在---之后，被浸入顯影溶液中。在顯影過程中，正性光刻膠曝過光的區域溶解得要快得多。理想情況下，未---的區域保持不變。負性光刻膠正好相反，在顯影劑中未---的區域將溶解，而---的區域被保留。正性膠的分辨力往往是較好的，因此在ic制造中的應用更為普及，但mems系統中，由于加工要求相對較低，光刻膠需求量大，負性膠仍有應用市場。
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