---質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的---離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和---氣的引入。空系統-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的---質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，冷凝器---檢漏設備廠家，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因
此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，---氣是逆擴散到質譜管，冷凝器---檢漏設備維修，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主品。
機械泵的工作方式不-樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，冷凝器---檢漏設備定制，污染工作環境，冷凝器---檢漏設備，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
在電力行業高壓環網柜生產中的應用
真空箱式---檢漏設備適用對充氣環網柜以下簡稱工件進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大0.04mpa，對被檢工件充注---氣，應用真空箱法進行---質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。
一、內腔表面光潔度現設備腔體都是用的熱板固光潔度鏡面處理達到“▽7”
做為設備驗收標準。
二、腔體外部面板烤漆處理-色澤均勻、亮度提升，加強筋及焊口、焊接時殘留焊瘤、焊渣、上漆時進行多面拋光研磨處理。
三、設備腔體部分選用ss304板10mm厚，腔體法蘭選用ss304板成活30mm.加強筋選用30mm*120mm.門面板成活15mm.-腔體部分厚實、美觀。以此數據作為驗收標準。
四、設備-護網選用40mm*40mm*5mm方管。網格選用φ8mm*8mm-護欄厚實美觀。漆色執行用戶技術要求外觀顏色
七、控制柜操作臺材料選用2.5mm板材。噴塑涂層外觀噴涂后距離300mm.自然光或40w日光燈下視線與涂層45°角觀察表面平整、光亮、流平性好。桔紋手感不明顯。不得有流痕，麻坑、縮孔、顏料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作臺抽屜進出順滑、平穩。依據以上作為驗收標準。
八、工件小車托盤見設備圖紙作為驗收依據
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適用對各類被檢要求氣密性漏率的產品以下簡稱工件進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空，使工件內外壓差不大0.04mpa，對被檢工件充注---氣，應用真空箱法進行---質譜氣密性檢測，通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內的---氣回收循環使用，向工件內充入規定壓力的sf6工作氣體。系統嚴格按照客戶的要求設計制造，采用模塊化的設計，充分考慮客戶的檢漏要求，同時也盡可能采用標準化的模塊和部件，-了系統的-性和可維護性。設備適應用電力行業，家用空調，制冷行業，汽車行業，新能源行業的氣密性檢測、應具有氣體充注。大漏判定功能，微漏定量檢漏功能，工件泄漏總的判定功能，并能滿足連續生產的需求，具有較高的自動化程度，操作簡便、安全、-。
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