一、風機跳閘
1. 檢查設備是否有溶劑過濾系統，觀察與溶劑過濾系統有關的蝶閥開啟是否正確；
2. 是否風機未開啟而設備已經開始工作了？這說明凈化柱上的擋板閥的反饋位置不對；
3. 也可能造成斷路器跳閘或變頻器自保的原因就是負載過大。
二、風機出現雜音軸承缺油，需人士拆開風機，加油保養。
三、手套箱不斷漏氣
1. 設備本身密封出現問題，保壓檢漏；
2. 過渡艙艙門未關嚴；
3. 腳踏是否被東西壓住；
4. 凈化系統管路電磁閥被雜質卡住。
1.整機應安放在溫差較小、操作便利的位置，分子篩公司，應避免陽光直曬和遠離采暖設備，分子篩，放置平穩;
2.將夾雜氣瓶、氮氣瓶安放平穩，并分袂裝好減壓閥(含壓力表)，安設在適當位置;
3.接上氣路并檢查氣路，為防止漏氣，時可在各接管處用密封膠粘合;
1、水氧含量大于200ppm
原因：新箱調試或誤操作。
辦法：停止循環，開啟清洗，清洗至100ppm以下，開啟循環。
2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4mpa或主閥信號故障
原因：氣源壓力不足。
辦法：換氣瓶，增大壓力至0.4-0.5mpar。
3、屏幕顯示“pump switch off”
原因：真空泵阻力過大，分子篩價格，造成跳閘。
辦法：維修真空泵后，打開電柜，合上跳閘開關。
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