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氣體傳感器說明半導體氣體傳感器可分為電阻型和非電阻型(結(jié)型、mosfet型、電容型)。電阻型氣敏器件的原理是氣體分子引起敏感材料電阻的變化;非電阻型氣敏器件主要有m()s二極管和結(jié)型二極管以及場效應管(m()sfet),它利用了敏感氣體會改變mosfet開啟電壓的原理,其原理結(jié)構(gòu)與isfet離子敏傳感器件相同。
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氣體傳感器種類固體電解質(zhì)是一種具有與電解質(zhì)水溶液相同的離子導電特性的固態(tài)物質(zhì),當用作氣體傳感器時,它是一種電池。它無需使氣體經(jīng)過透氣膜溶于電解液中,可以避免溶液蒸發(fā)和電極消耗等問題。由于這種傳感器電導率高,靈敏度和選擇性好,幾乎在石化、、礦業(yè)、食品等各個領(lǐng)域都得到了廣泛的應用,其重要性僅次子金屬—氧化物一半導體氣體傳感器。
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氣體傳感器描述固定po2(1)實際上是(-)極形成一個電位固定的電極,即參比電極,有氣體參比電極和共存相參比電極兩種。氣體參比電極可以是空氣或其他混合氣體,如:h2一h2o,co一co2也能形成固定的po2(1)。共存相參比電極是指金屬-金屬氧化物、金屬氧化物----金屬氧化物的混合粉末(固相),這些混合物與氧氣(氣相)混合發(fā)生氧化反應能形成同定的氧壓,因此也能作為參比電極。
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