(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見(jiàn)圖2)，位于隔熱板的上方：檢漏儀測(cè)試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運(yùn)輸過(guò)程中如遇到-震動(dòng)，此處容易造成密封膠開(kāi)裂。各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5 年以上時(shí)，有可能會(huì)存在密封失效的問(wèn)題。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測(cè)，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測(cè)時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測(cè)時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開(kāi)，避免風(fēng)扇將-源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制-源的流量，汽車空調(diào)檢漏回收系統(tǒng)，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測(cè)信號(hào)有無(wú)變化。
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1.為了正確使用-氣檢漏設(shè)備，在充入檢漏氣體前有-對(duì)抽空樣品進(jìn)行預(yù)抽空。如果在填充前沒(méi)有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，檢漏回收系統(tǒng)，-氣檢漏設(shè)備中的氣體不能進(jìn)入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設(shè)備不能檢測(cè)到這些檢漏孔。
2.-氣檢漏設(shè)備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗(yàn)前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細(xì)管會(huì)被水堵塞或充滿，從而大大影響檢漏結(jié)果。
3.在填充檢漏氣體之前，有-快速測(cè)試是否有大的泄漏。對(duì)大泄漏孔的一個(gè)簡(jiǎn)單測(cè)試方法是在短時(shí)間內(nèi)抽空樣品并觀察抽空壓力。如果樣品能夠保持抽空壓力，則表明沒(méi)有大的泄漏孔，可以填充泄漏檢測(cè)氣體。
4.如果氣密檢漏儀在運(yùn)行過(guò)程中沒(méi)有在高壓下進(jìn)行泄漏測(cè)試，那么-氣檢漏設(shè)備就不能檢測(cè)到一些泄漏孔。因此，在檢漏過(guò)程中使用較高的測(cè)試壓力可以有效地檢測(cè)實(shí)際操作中沒(méi)有出現(xiàn)的泄漏孔。
5.檢漏試驗(yàn)中的可檢測(cè)泄漏率與檢漏氣體的背景濃度有很大關(guān)系，背景濃度越高，波動(dòng)越大。如果泄漏測(cè)試后泄漏檢測(cè)氣體排放到泄漏檢測(cè)區(qū)域，背景濃度將在整個(gè)工作日持續(xù)增加。此外，在加注或排放過(guò)程中，-沒(méi)有氣體溢出，并定期檢查連接件是否有泄漏。
6.如果檢漏氣體泄漏-和氫，它將像氣球一樣飛到檢漏區(qū)的室頂，并逐漸漂浮在整個(gè)檢漏區(qū)。因此，應(yīng)該為泄漏測(cè)試區(qū)域提供足夠的通風(fēng)。由于兩種泄漏檢測(cè)氣體都傾向于向上移動(dòng)，因此建議從底部輸入新鮮空氣，從頂部向外排放氣體。
檢漏儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度，正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間不大于3s。筆者實(shí)測(cè)時(shí)，汽車空調(diào)檢漏回收系統(tǒng)，在漏點(diǎn)處噴射-氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應(yīng)，對(duì)于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。
檢漏時(shí)噴在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴-的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。筆者根據(jù)實(shí)測(cè)經(jīng)驗(yàn)，兩次噴-的較小間隔時(shí)間控制在30s左右，即如果次噴-后30s內(nèi)檢漏儀還沒(méi)有反應(yīng)，則可進(jìn)行第二次噴-。
清除時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同，但由于儀器零件對(duì)-的吸附和脫附作用的影響，清除時(shí)間一般要更長(zhǎng)些。筆者-，在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-9p a ?m3/s的微漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間約須1分鐘；在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-8p a ? m3/s的中漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間約須2分鐘；在測(cè)試到數(shù)量級(jí)為10-7pa?m3/s的大漏漏點(diǎn)時(shí)，清除時(shí)間在3分鐘左右。
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