旋轉真空泵又有如下幾種形式: 油封式真空泵:它是利用油類密封各運動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置,故又稱氣鎮式真空泵。干式螺桿真空泵:它是一種不用油類或液體密封的變容真空泵。液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體通常為水或油拋向泵殼內形成泵殼同心的環液,環液同轉子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的-真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmhg的工作真空度,選用的真空泵的-真空度至少要2mmhg,好能達到1mmhg。通常選擇泵的-真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。真空泵的價格、運轉及維修費用。
在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的-真空度,因為系統的-真空度決定了系統的佳工作真空度。一般來講,系統的-真空度比系統的工作真空度低20%,比前級泵的-真空度低50%。檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應,泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
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