常用的流量計(jì)/控制器的種類按工作原理分主要有兩種:熱式和層流式。熱式流量計(jì)/控制器的工作原理為:利用氣體流過形成的上、下游溫度差來測量流量,溫度差的大小與流量的大小有關(guān),溫差越大,流量越大。
層流式流量計(jì)/控制器的工作原理為:利用氣體流過形成的上、下游壓力差來測量流量壓力差的大小與體積流量的高低有關(guān),層流式控制器原理,配合氣體的密度計(jì)算流量。
流量計(jì)是一種用于測量流體的儀表,相較于傳統(tǒng)的體積流量計(jì)具有更高的精度和穩(wěn)定性。它能夠直接測得通過管道的流量、密度以及溫度等參數(shù)值,不受介質(zhì)壓力變化及流動狀態(tài)的影響。
其工作原理通常基于科氏力原理或熱導(dǎo)式原理:利用振動管在振動過程中產(chǎn)生與成正比的相位差來測定流過管道的;或通過測定傳感器加熱元件因被測介貢流速不同而帶走的熱量多少來計(jì)算流量的方法來確定物質(zhì)的瞬時(shí)和累計(jì)重量(總量)。該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)環(huán)境和使用場景中對氣體或者液體的準(zhǔn)確計(jì)量和控制過程之中去幫助實(shí)現(xiàn)自動化控制和提高生產(chǎn)效率的目的。
產(chǎn)品特點(diǎn),本產(chǎn)品集成觸摸顯示屏,可以通過顯示屏選擇待控制氣體的種類、壓力控制值的大流量體積、精度等,操作方便,實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前流量信息。本產(chǎn)品在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合是:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延、cvd、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。