氣體激光(gaseous laser)，以氣體為自動(dòng)介質(zhì)的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，-是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會(huì)引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求，激光混合氣批發(fā)廠家，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將-(he)-(ne)激光作為代氣體激光，-激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫?-(krf)激光，可稱為第三代激光。au，cu，ba，sn，pb，zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動(dòng)介質(zhì)。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。
近年來(lái)co2激光加工設(shè)備雖然漸趨普及，但激光畢竟是一種新的工具，激光混合氣供應(yīng)商，激光加工技術(shù)亦不同于傳統(tǒng)的加工方法，所以工業(yè)界在引進(jìn)使用co2激光器的過(guò)程中，曾經(jīng)遇到各種各樣的問(wèn)題，給很多廠商造成不少困擾。重要的準(zhǔn)分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動(dòng)介質(zhì)，如arf， krf，合肥激光混合氣， xef， krcl，激光混合氣報(bào)價(jià)， xecl等。因?yàn)槭芗B(tài)常以星號(hào)(*)上標(biāo)表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫(xiě)成arf*等。準(zhǔn)分子不會(huì)天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時(shí)形成的。激-體中的發(fā)生氣體時(shí)激光發(fā)生器上用來(lái)產(chǎn)生激光的氣體，對(duì)氣體要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純-純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純-氣的純度要求99.999%，-是產(chǎn)生激光的，-氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對(duì)激光機(jī)的鏡片損傷-大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對(duì)這些氣體的要求-高。
20w機(jī)型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見(jiàn)光波長(zhǎng)分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍(lán)綠光波段中，而的是514.5及488 nm。-離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中，有將氬氣與-氣混合的機(jī)型。氣體激光(gaseous laser)，以氣體為自動(dòng)介質(zhì)的激光中，包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。準(zhǔn)分子(excimer)激光：準(zhǔn)分子一詞的本意，是「兩個(gè)同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子he2、ar2、xe2等；其英文原名為 excited dimer 組合成的術(shù)語(yǔ)。現(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時(shí)還包含三原子分子)」。
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