單級(jí)雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣,其特點(diǎn)是把旋轉(zhuǎn)水環(huán)當(dāng)做活塞來改變泵腔的容積,以達(dá)到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉(zhuǎn)子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下,云浮普發(fā)分子泵控制器,軸端是密封的,是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的,其中密封水是通過端板上的孔道導(dǎo)入導(dǎo)水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的
pfeiffer tmh071 p渦輪分子泵大量用于pfeiffer、agilentvarian、 ulvac、inficon、vst、abi、shimadzu等分析設(shè)備及-檢儀中分析儀器如-質(zhì)譜檢漏儀,及小型分子泵組中。德國(guó)普發(fā)pfeiffer tmh071 p分子泵進(jìn)氣法蘭口dn63 iso-kf/dn63 cf-f,出氣法蘭口dn16iso-kf,抽速可達(dá)到60l/s, 轉(zhuǎn)速為90000rpm,-真空<1*10e8mbar; 對(duì)應(yīng)的控制器為pfeiffer tc600.
當(dāng)今,現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中,越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡,普發(fā)分子泵控制器燒壞,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及-質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外,在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,z近十幾年來,渦輪分子泵,在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下,有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此,針對(duì)這種現(xiàn)狀,普發(fā)分子泵控制器價(jià)格,對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器油旋片真空泵
渦輪分子泵性能
泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外,還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮(或空氣)的壓縮比為10~10;對(duì)氫為10~10;對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于10。
泵的-壓力為10pa,工作壓力范圍為10~10pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1l=10m)。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面zui大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的性,因此要求配有工作壓力為1~10pa的前級(jí)真空泵。
分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000~60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動(dòng)機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)。
不要長(zhǎng)時(shí)間在高壓力下工作
包括油旋片真空泵在內(nèi)的好多粗真空泵都可以從-壓直接啟動(dòng),但不代表它們可以長(zhǎng)期在-壓或者比較差的真空下工作。旋片真空泵長(zhǎng)時(shí)間在比較差的真空度下工作時(shí),普發(fā)分子泵控制器-,大量的潤(rùn)滑油會(huì)以油霧甚至油滴的形式從排氣口噴出,造成·泵油損失;另外,真空度比較差時(shí),真空泵-也會(huì)比較-。
廣州潽拓光電科技有限公司——普發(fā)分子泵控制器 油旋片真空泵
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pfeifer duoline旋片泵蓋了中低真空范圍(zui高為10-3 hpa)的所有應(yīng)用。即使對(duì)于像干燥工藝、冶金工藝或樹脂究注系統(tǒng)等要求苛刻的工業(yè)應(yīng)用,這些泵也能提供-的操作一作為單獨(dú)的泵,或者在我們的羅茨泵組或渦輪分子泵組中作為前級(jí)泵。得益于其-性的驅(qū)動(dòng)器概念,這些泵都被密封,使得它們清潔且與環(huán)境兼容。由于磁耦合旋片泵沒有徑向軸密封件,所以不存在油泄漏. 隔膜真空泵保養(yǎng)中心
真空泵維修:
真空泵全拆修叫做大修,對(duì)采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵,其真空度仍低、仍有滲漏等現(xiàn)象;或者有些泵有下述現(xiàn)象之一者:
如泵發(fā)生“卡死”現(xiàn)象,油很臟而且泵內(nèi)已結(jié)了垢,生了銹或用了不適當(dāng)?shù)挠褪箼C(jī)械泵內(nèi)部零部件上結(jié)了硬殼硅汕進(jìn)入機(jī)械泵內(nèi),就可能產(chǎn)生這種情形,旋片有較大的撞擊聲,泵腔內(nèi)落入異物金屬屑、玻璃屑、銅屑等劃傷泵腔,摩擦-溫升很厲害超過70℃等,均需將真空泵全拆開進(jìn)行清洗修理。
根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:
(1)一般水泵,壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kpa(10~760mmhg)為粗真空。
(2)油泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3pa(0.001~1mmhg)為次高真空。
(3)擴(kuò)散泵,壓強(qiáng)可達(dá)0.133pa以下,(10-3mmhg)為高真空。
若要較低的壓力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3pa(1mmhg)以下。
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