無塵凈化車間亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如-型積體電路之研究制造,已成為各國在科技發展上-重視的項目。凈化車間對無塵干凈這方面要求非常高。
無塵車間設備如何選擇、布置與保養:
a.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。
b.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
c.生產用之水、氣體、-等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
d.規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。
e.真空泵等容易產生污染物的這類設備,應設置在無塵車間外面或回風區,并加裝排氣管線排氣。
f.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
g.生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
百級無塵室建筑方式可分為土建結構和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。裝配式百級無塵室潔凈系統主要由靜壓箱,過濾器,花露水凈化車間安裝,鋁合金擴散板,標準法蘭接口等組成,造型美觀,結構簡單,使用-。 如送風口為下裝式,具有在潔凈室內安裝和更換過濾器方便的優點,過濾器采用機械壓緊或液槽密封裝置,-風口安裝無泄露,密封-,凈化效果好.動力及照明系統;工作環境參數的監測報警消防和通訊系統;物流系統;工藝管路系統。