近年來(lái)還出現(xiàn)了超聲波清洗的一種特殊應(yīng)用-超聲波除垢。超聲波除垢主要是利用超聲波強(qiáng)聲場(chǎng)處理流體，使流體中成垢物質(zhì)在超聲場(chǎng)的作用下的物理形態(tài)和化學(xué)性能發(fā)生一系列變化，使之分散、粉碎、松散、松脫而不易附著管、器壁形成積垢。作為超聲清洗的特殊應(yīng)用，超聲防垢廣泛應(yīng)用在鍋爐、熱交換裝置和管道防垢、除垢領(lǐng)域。
兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了它的不足。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長(zhǎng)為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動(dòng)下作加速運(yùn)動(dòng)，大瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面，晶圓清洗價(jià)格，使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時(shí)起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
技術(shù)早出現(xiàn)于20世紀(jì)30年代早期，當(dāng)時(shí)，位于美國(guó)新澤西州的美國(guó)無(wú)線電公司的一個(gè)實(shí)驗(yàn)室中的-嘗-自制的簡(jiǎn)陋超聲波清洗系統(tǒng)清洗某些物體，但試驗(yàn)未獲成功。在此基礎(chǔ)上，超聲波清洗技術(shù)在20世紀(jì)50年代有了很大的發(fā)展，當(dāng)時(shí)使用的超聲波工作頻率在20～ 40 khz之間。該范圍內(nèi)的超聲波被應(yīng)用在數(shù)千種不同的工作場(chǎng)合下，晶圓清洗公司，其中許多是別的清洗手段不能-發(fā)揮作用的場(chǎng)合。超聲波可以對(duì)工件施加非常-的能量，尤其適用于清除牢固地附著在基底上的污垢。然而在某些情況下，超聲波-的能量也會(huì)損傷粘有污垢而性質(zhì)脆弱的基底材料。在過(guò)去的十幾年中，超聲波領(lǐng)域中出現(xiàn)了一些技術(shù)-，提高了清除敏感基底上的污物的安全系數(shù)。在此期間，超聲波技術(shù)，晶圓清洗，-是中高頻超聲波清洗技術(shù)有了新的發(fā)展，并成為行業(yè)的亮點(diǎn)。近年來(lái)，人們發(fā)現(xiàn)用兆聲波(根據(jù)超聲波的頻率不同，晶圓清洗，把40 khz及其以下的稱為常規(guī)或低頻超聲波，把1 000 khz以上的稱為高頻超聲波，又稱兆頻超聲波，簡(jiǎn)稱兆聲波)清洗可以去除掉半導(dǎo)體材料表面上的超細(xì)污垢微粒，并且不會(huì)損傷基底材料的表面。目前這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)得到了很快的普及。
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