清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑即化學溶劑和水基清洗劑。清洗介質的化學作用可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，依對物件進行充分、的清洗。功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，速度越快，清洗效果越好，但對于精密的表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生空化、腐蝕。超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強，晶圓清洗，適合于精細的物件清洗。清洗高溫：一般來說，超聲波在30℃~40℃時的空化效果，清洗劑也不是溫度越高，作用越-，有可能會高溫失效，通常超聲波在超過85°c時，清洗效果已變差。所以實際應用超聲波清洗時，采用50°c~70°c的工作溫度。
單點噴淋式兆聲清洗，晶圓清洗價格，無二次污染問題頻超聲波，頻率可達3mhz清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應，不損傷器件表面無金屬材質接觸液體，無導電物質脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。
噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進行清洗。它的優勢在于可點對點的直接對被清洗物表面進行處理，可讓聲能焦點直接處于被清洗物表面，然后再通過運動來實現整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗，其兆聲轉換效率更高，晶圓清洗公司，并且避免了槽式兆聲清洗中聲場強度隨水槽液體-變化而變化的問題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會發生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。
槽式兆聲清洗的優點在于其兆聲換能器面積較大，可以大面積輻射兆聲聲場，從而更的進行清洗。但缺點是兆聲聲場在水槽中分布不均勻，距離換能器越遠聲強越弱，同時聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優點在于可直接將兆聲能量-在清洗物表面，從而可通過運動清洗物和噴頭實現清洗物表面均勻的聲場分布，北京晶圓清洗，且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量，對清洗液浪費較大，并且噴淋式兆聲換能器面積較小，從而聲能輻射面積較小，清洗速度較慢。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優點并摒棄了二者缺點的-化的兆聲清洗技術。它可以以相對大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，具有非常高的傳遞效率和聲場均勻性，同時非常節省清洗液。
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