技術早出現于20世紀30年代早期，當時，云南兆聲波清洗機，位于美國新澤西州的美國無線電公司的一個實驗室中的-嘗-自制的簡陋超聲波清洗系統清洗某些物體，但試驗未獲成功。在此基礎上，超聲波清洗技術在20世紀50年代有了很大的發展，當時使用的超聲波工作頻率在20～ 40 khz之間。該范圍內的超聲波被應用在數千種不同的工作場合下，其中許多是別的清洗手段不能-發揮作用的場合。超聲波可以對工件施加非常-的能量，尤其適用于清除牢固地附著在基底上的污垢。然而在某些情況下，超聲波-的能量也會損傷粘有污垢而性質脆弱的基底材料。在過去的十幾年中，超聲波領域中出現了一些技術-，提高了清除敏感基底上的污物的安全系數。在此期間，超聲波技術，-是中高頻超聲波清洗技術有了新的發展，并成為行業的亮點。近年來，人們發現用兆聲波(根據超聲波的頻率不同，把40 khz及其以下的稱為常規或低頻超聲波，把1 000 khz以上的稱為高頻超聲波，又稱兆頻超聲波，簡稱兆聲波)清洗可以去除掉半導體材料表面上的超細污垢微粒，并且不會損傷基底材料的表面。目前這項技術已經得到了很快的普及。
單點噴淋式兆聲清洗，無二次污染問題頻超聲波，頻率可達3mhz清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應，不損傷器件表面無金屬材質接觸液體，無導電物質脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。
噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進行清洗。它的優勢在于可點對點的直接對被清洗物表面進行處理，兆聲波清洗機報價，可讓聲能焦點直接處于被清洗物表面，然后再通過運動來實現整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗，其兆聲轉換效率更高，并且避免了槽式兆聲清洗中聲場強度隨水槽液體-變化而變化的問題，兆聲波清洗機，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，兆聲波清洗機公司，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會發生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。
隨著應用范圍的擴大，超聲波清洗技術也有了新的發展。傳統的超聲波清洗設備由于自動化程度不高而難以-零件清洗的均勻性，近年來逐漸出現了自動化程度高、靈活性強的自動化超聲波清洗設備。不但實現了超聲波清洗的自動化控制和批量作業，還穩定了清洗工藝、提高了清洗。這類超聲波清洗設備將超聲波清洗和化學清洗、漂洗、脫水、烘干等工藝結合，因而有非常高的清洗效率。在傳動、烘干、清洗方面通常使用plc控制，實現了清洗過程的全自動化。
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