頭貼近被清洗物，清洗效率程度減少清洗液使用量清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應，不損傷器件表面石英或藍寶石耦合技術，無雜質脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。
兆聲清洗利用兆赫茲級別的頻超聲波能量推動基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應。相比于低頻超聲波空化效應，兆聲波空化效應可清除更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。
槽式兆聲清洗的優點在于其兆聲換能器面積較大，可以大面積輻射兆聲聲場，從而更的進行清洗。但缺點是兆聲聲場在水槽中分布不均勻，距離換能器越遠聲強越弱，同時聲能傳遞效率較低。噴淋式兆聲清洗的優點在于可直接將兆聲能量-在清洗物表面，從而可通過運動清洗物和噴頭實現清洗物表面均勻的聲場分布，且聲能傳遞效率較高。但噴淋式需要較大的清洗液流量，對清洗液浪費較大，陜西兆聲波清洗機，并且噴淋式兆聲換能器面積較小，從而聲能輻射面積較小，清洗速度較慢。
貼合式兆聲清洗是一種吸取了槽式和噴淋式兩種兆聲清洗的優點并摒棄了二者缺點的-化的兆聲清洗技術。它可以以相對大的面積直接將兆聲聲能均勻的傳遞到晶圓表面，具有非常高的傳遞效率和聲場均勻性，同時非常節省清洗液。
兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優點，而且克服了它的不足。在清洗時，由換能器發出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，瞬時速度可達到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡，而只能以高速的流體波連續沖擊晶片表面，使硅片表面附著的污染物的細小微粒被強制除去并進入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子，起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時起到機械擦片和化學清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
1、遵守鑄造設備通用操作規程。2、工作前還必須遵守：a、檢查管路系統有無漏氣漏水的情況，如有這種情況，應通知維修人員修理。b、檢查清洗液是否足夠，如果不夠，及時增加清洗液。c、先點動試車，然后空運轉2-3分鐘，檢查傳動系統電動機、聯軸節、減速器和運輸帶的運動是否平穩，確認一切正常后，方可進行生產。d、開啟浮油排除裝置不帶浮油排除裝置除外開始浮油排除，兆聲波清洗機，因此時水泵尚開啟，水面平靜，排油，待浮油基本排除后停止除油，排油污多克利用午休時間進行。
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