emmi微光顯微鏡
微光顯微鏡emission microscope， emmi是常用漏電流路徑分析手段。對于故障分析而言，微光顯微鏡emission microscope， emmi是一種相當有用且效率-的分析工具。主要偵測ic內部所放出光子。在ic元件中，ehpelectron hole pairsrecombination會放出光子photon。如在p-n結加偏壓，此時n阱的電子很容易擴散到p阱，而p的空穴也容易擴散至n，等離子開封機設備，然后與p端的空穴或n端的電子做ehp recombination。在故障點定位、尋找近紅外波段發光點等方面，等離子開封機，微光顯微鏡可分析p-n接面漏電；p-n接面崩潰；飽和區晶體管的熱電子；氧化層漏電生的光子激發；l-h up、gate oxide defect、junction leakage、hot carriers effect、esd等問題.
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