兆聲清洗是利用兆赫茲級別的頻超聲波能量去進行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應。相比于低頻超聲波空化效應，兆聲波空化效應可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統(tǒng)以用于cmp化學機械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領(lǐng)域。 siansonic東方金榮噴淋式兆聲清洗噴頭的特點及優(yōu)勢單點噴淋式兆聲清洗，兆聲清洗機報價，相比傳統(tǒng)槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應，不會對器件表面造成損傷清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質(zhì)，適應各種酸堿及石英或藍寶石匹配層技術(shù)，無雜質(zhì)脫落到器件上的風險的換能器貼合技術(shù)，更高的穩(wěn)定性和耐久性
第三代半導體技術(shù)的兆聲發(fā)生器，實現(xiàn)數(shù)字化高頻大功率驅(qū)動。
超聲波是一種頻率超出人類聽覺范圍20 khz以上的聲波。超聲波的傳播要依靠彈性介質(zhì)，其傳播時，使彈性介質(zhì)中的粒子振蕩，并通過介質(zhì)按超聲波的傳播方向傳遞能量，這種波可分為縱向波和橫向波。在固體內(nèi)，兩者都可以傳送，北京兆聲清洗機，而在氣體和液體內(nèi)，兆聲清洗機價格，只有縱向波可以傳送。超聲波能夠引起質(zhì)點振動，質(zhì)點振動的加速度與超聲頻率的平方成正比。因此，幾十千赫茲的超聲會產(chǎn)生-的作用力，強超聲波在液體中傳播時，由于非線性作用，會產(chǎn)生聲空化。在空化氣泡突然閉合時發(fā)出的沖擊波可在其周圍產(chǎn)生上千個-壓力，對污層的直接反復沖擊，一方面破壞污物與清洗件表面的吸附，另一方面也會引起污物層的破壞而脫離清洗件表面并使它們分散到清洗液中。氣泡的振動也能對固體表面進行擦洗。氣泡還能“鉆入”裂縫中做振動，使污物脫落。對于有油脂性污物，由于超聲空化作用，兩種液體在界面迅速分散而乳化，當固體粒子被油污裹著而粘附在清洗件表面時，油被乳化，固體粒子即脫落。空化氣泡在振動過程中會使液體本身產(chǎn)生環(huán)流，即所謂聲流。他可使振動氣泡表面存在-的速度梯度和粘滯應力，促使清洗件表面污物的破壞和脫落，超聲空化在固體和液體表面上所產(chǎn)生的高速微射流能夠除去或削弱邊界污層，腐蝕固體表面，增加攪拌作用，加速可溶性污物的溶解，強化化學清洗劑的清洗作用。此外，超聲振動在清洗液中引起質(zhì)點很大的振動速度和加速度，亦使清洗件表面的污物受到頻繁而激烈的沖擊。
單點噴淋式兆聲清洗，無二次污染問題頻超聲波，頻率可達3mhz清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應，不損傷器件表面無金屬材質(zhì)接觸液體，無導電物質(zhì)脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。
噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進行清洗。它的優(yōu)勢在于可點對點的直接對被清洗物表面進行處理，可讓聲能焦點直接處于被清洗物表面，然后再通過運動來實現(xiàn)整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗，其兆聲轉(zhuǎn)換效率更高，并且避免了槽式兆聲清洗中聲場強度隨水槽液體-變化而變化的問題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會發(fā)生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。
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