對(duì)于紊流潔凈室,由于主要依靠空氣的稀釋作用來(lái)降低室內(nèi)污染程度,所以主要采用換氣次數(shù)的概念,而不是直接采用速度的概念,但對(duì)室內(nèi)空氣流動(dòng)的速度也有以下要求;
1.送風(fēng)口出口處的氣流速度不宜過(guò)大。與簡(jiǎn)單空調(diào)房相比,速度衰減更快,擴(kuò)散角。
2.吹過(guò)水平面的氣流速度如車(chē)損時(shí)的回流速度不宜過(guò)大,以免將表面顆粒吹回氣流中,造成二次污染,此速度不宜干燥0.2m/s。
對(duì)于平流潔凈室俗稱(chēng)層流潔凈室,因?yàn)樗饕俊盎钊麛D壓作用的氣流來(lái)排除污染”,所以截面上的速度是一個(gè)非常重要的指標(biāo)。以往全部參考美國(guó)20gb標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s。但人們也明白,這樣大的風(fēng)速所需要的通風(fēng)非常大,為了節(jié)約能源,也都在探索降低風(fēng)速的可行性。
另外,當(dāng)濕度過(guò)高時(shí),粘在硅芯片表面的灰塵會(huì)被化學(xué)吸附在表面,工作臺(tái)設(shè)計(jì),難以清理。相對(duì)濕度越高,去除附著越困難。而當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),由于靜電力的作用,顆粒容易吸附在表面,大量半導(dǎo)體器件容易擊穿。
凈化工程壓力調(diào)節(jié)
對(duì)于大多數(shù)潔凈空間來(lái)說(shuō),要保持內(nèi)壓靜壓高于外壓靜壓,以防止外部污染的侵入。壓差一般應(yīng)按照以下原則維持:
讓空氣凈化系統(tǒng)和這個(gè)潔凈室的裝修等等都是主要業(yè)務(wù)。
凈化工程所-設(shè)計(jì)的房間,工作臺(tái),不管是在空氣條件上面如何變化的話(huà),生產(chǎn)工作臺(tái),室內(nèi)京東可以保持著友好的協(xié)作,標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái),溫濕度以及這個(gè)壓力等性能,嚴(yán)格的按照標(biāo)準(zhǔn)去行。可以為各行各業(yè)提供凈化等級(jí)的要求,以及空氣凈化系統(tǒng),還有整體的設(shè)計(jì),售后維修等等,那么在很多行業(yè)當(dāng)中都是有所涉獵的,也是一個(gè)基礎(chǔ)的配套產(chǎn)品吧。