管道系統的布置方式
各種管網都是由總管、干管和支管三部分組成。 總管是指從室外管網到實驗室內的管道，干管是指從總管分送到各單元的管道，氣體減壓器，支管是指從干管連接到實驗臺的實驗設備的管道，各種管道一般總是以水平和垂直兩種方式布置。
管道系統設計的考慮因素
科學合理的管道系統設計，可以較低的成本實現-的功能與效果。通常考慮一下因素。
1.管道系統的布置方式
合理布置垂直輸送、水平輸送、排放管道和管井的位置，將樓層高降到底線，盡量減少輸送和排放管道的交叉次數，降低建筑投資成本。
2.管道系統的維護問題
必須預留維修的空間，方便維修管道系統的控制閥門和斷路器等關鍵部件。
3.管道系統未來的改變
必須預留空間和通道以允許對公用服務設施進行改變和增加，適應未來發展的需要。
4.管道系統的效率
盡量使各種管線短捷、經濟合理，提升效率，降低運行費用與管道系統的投資費用。
5.建筑的形象設計
管道系統的設計直接影響建筑物的高度和體量，可采用實驗室模塊分散式管井，也可采用集中式大型豎井，必須結合建筑物的總體形象與實驗樓的實際需要，曹勇美觀的管道系統。
高純氣體配管及附件材質的選擇
選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。目前-規模集成電路前工序高純氣體輸送系統管道材料采用不銹鋼光亮退火管ss304ba、ss316ba、不銹鋼電拋光管ss316l-ep等，氣體減壓器供應商，但是對要求控制高純氣體中總雜質含量≤1.01.0×10－6及以下的管材應用ss316l-ep管。
注：管路型式以氣體特性設計，惰性氣體使用一般的單層管，作為制程用的反應氣體，氣體減壓器公司，則選用高i級別的ss316l-ep管；使用與芯片接觸但不參與制程反應的氣體則選用ss316l-ba管。
對于自燃爆i炸，有劇i毒的特種氣體，如sih4、ph3、ash3等則考慮使用雙套管，它的內/外管材質一般為ss316l-ep/ss316l-ap，此設計的主要目的有兩點，首先可保護內管直接受到外力撞擊，其次能將由內管滲漏的氣體阻絕于外管，并利用相關的檢測設備檢測，目前常用的設計有正壓和負壓兩種方式，負壓設計是將內外管間-真空，正壓設計則是灌以氮氣維持正壓，兩者皆可接上壓力表或者壓力警報器檢知泄漏狀態。
通常采用的方法有機械噴砂、化學溶液清洗、化學拋光、電拋光等，目前廣泛應用的管材有光亮退火管和電拋光管。
氣體管道安裝流程
1、施工前準備：真空管道安裝前做好施工材料的清點領用準備。
2、材料防腐：防腐施工是真空管道安裝項目的重要環節。在安裝工程中常用的的防腐材料主要有各種有機和無機涂料、玻璃鋼、橡膠制品、無機板材等。
3、管道配管：冷熱管盡量分開布置，分不開時，熱管在上，冷管在下；真空管線應盡量短，氣體減壓器報價，減小阻力，達到真空度。
4、支架第i一階段安裝
5、管道安裝及支吊架第二階段安裝
6、管道對口、焊接：對口的關鍵是破口要合適。焊接時，要注意選擇與管道材質相匹配的焊條，用評定好的焊接工藝進行焊接。
7、閥門及特殊部件的安裝
8、支架和管道安裝符合性檢查
9、嚴密性試驗及水壓
10、系統的沖洗和吹掃
11、支吊架調整
12、安裝結束及記錄文件整理
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