兆聲清洗是利用兆赫茲級別的頻超聲波能量去進行基材表面亞微米級顆粒的去除以及化學反應。相比于低頻超聲波空化效應，兆聲波空化效應可清楚更小的顆粒并且大幅降低對基材的損傷。東方金榮提供多種類型的兆聲系統以用于cmp化學機械拋光、鍵合前清洗、掩膜清洗、顯影、去膠、金屬剝離、濕法刻蝕等多種領域。 siansonic東方金榮噴淋式兆聲清洗噴頭的特點及優勢單點噴淋式兆聲清洗，相比傳統槽式清洗，可解決清洗液二次污染問題。極低的超聲空化效應，不會對器件表面造成損傷清洗精度，可去除物體表面0.2微米的污漬顆粒非金屬腐材質，適應各種酸堿及石英或藍寶石匹配層技術，無雜質脫落到器件上的風險的換能器貼合技術，更高的穩定性和耐久性
第三代半導體技術的兆聲發生器，實現數字化高頻大功率驅動。
單點噴淋式兆聲清洗，無二次污染問題頻超聲波，頻率可達3mhz清洗精度高，可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應，兆聲清洗機，不損傷器件表面無金屬材質接觸液體，無導電物質脫落風險腐性，可耐各種酸堿溶液及。
噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中，以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進行清洗。它的優勢在于可點對點的直接對被清洗物表面進行處理，可讓聲能焦點直接處于被清洗物表面，然后再通過運動來實現整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗，其兆聲轉換效率更高，兆聲清洗機報價，并且避免了槽式兆聲清洗中聲場強度隨水槽液體-變化而變化的問題，使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外，兆聲清洗機公司，由于是噴嘴噴淋的方式，也不會發生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。
清洗介質：采用超聲波清洗，一般有兩類清洗劑即化學溶劑和水基清洗劑。清洗介質的化學作用可以加速超聲波清洗效果，超聲波清洗是物理作用，兩種作用相結合，依對物件進行充分、的清洗。功率密度：超聲波的功率密度越高，空化效果越強，兆聲清洗機，速度越快，清洗效果越好，但對于精密的表面光潔度甚高的物件，采用長時間的高功率密度清洗會對物件表面產生空化、腐蝕。超聲頻率：適用于工件粗、臟、初洗，頻率高則超聲波方向性強，適合于精細的物件清洗。清洗高溫：一般來說，超聲波在30℃~40℃時的空化效果，清洗劑也不是溫度越高，作用越-，有可能會高溫失效，通常超聲波在超過85°c時，清洗效果已變差。所以實際應用超聲波清洗時，采用50°c~70°c的工作溫度。
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