兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優點,而且克服了它的不足。在清洗時,由換能器發出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動,瞬時速度可達到30cm/s。因此,形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細小微粒被強制除去并進入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時起到機械擦片和化學清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
1、遵守鑄造設備通用操作規程。2、工作前還必須遵守:a、檢查管路系統有無漏氣漏水的情況,山西兆聲波清洗機,如有這種情況,應通知維修人員修理。b、檢查清洗液是否足夠,如果不夠,及時增加清洗液。c、先點動試車,然后空運轉2-3分鐘,檢查傳動系統電動機、聯軸節、減速器和運輸帶的運動是否平穩,兆聲波清洗機價格,確認一切正常后,方可進行生產。d、開啟浮油排除裝置不帶浮油排除裝置除外開始浮油排除,因此時水泵尚開啟,水面平靜,兆聲波清洗機,排油,待浮油基本排除后停止除油,排油污多克利用午休時間進行。
單點噴淋式兆聲清洗,無二次污染問題頻超聲波,頻率可達3mhz清洗精度高,可去除0.2微米的污漬顆粒-的聲空化效應,不損傷器件表面無金屬材質接觸液體,兆聲波清洗機公司,無導電物質脫落風險腐性,可耐各種酸堿溶液及。
噴淋式兆聲噴頭是將兆聲換能器嵌入到噴嘴中,以噴嘴的形式對被清洗物如晶圓等進行清洗。它的優勢在于可點對點的直接對被清洗物表面進行處理,可讓聲能焦點直接處于被清洗物表面,然后再通過運動來實現整個二維平面的清洗。這種方式相比于槽式兆聲清洗,其兆聲轉換效率更高,并且避免了槽式兆聲清洗中聲場強度隨水槽液體-變化而變化的問題,使被清洗物如晶圓表面獲得的聲能更均勻。另外,由于是噴嘴噴淋的方式,也不會發生像槽式清洗中水槽中的殘留的臟污對被清洗物造成二次污染的問題。
一般來說,清洗的工藝流程依被清洗物體清洗的難易程度及清洗數量而決定。主要清洗流程如下:1)熱浸洗或噴洗:目的是將工件上的污染物軟化、分離、溶解,并減輕下道清洗工序的負荷。2)超聲波清洗:利用超聲波產生的-空化作用及振動將工件表面的污垢剝離脫落,同時還可將油脂性的污物分解、乳化。3)冷漂洗:利用流動的凈水將已脫落但尚浮在工件表面上污物沖洗干凈。4)超聲波漂洗:溶劑為干凈的清水,工件浸入后,利用超聲波將浮在工件各邊、角及孔隙處的污物清洗干凈。5)熱凈水及冷凈水漂洗:進一步去除懸附在工件表面上的污物微粒。6)熱風烘干:利用一定的溫度和風速,使零件表面快速干燥。