一六 熒光測(cè)厚儀 十年以上研發(fā)團(tuán)隊(duì) 集研發(fā)生產(chǎn)銷售一體
元素分析范圍:氯(ci)- -(u) 厚度分析范圍:各種元素及有機(jī)物
一次可同時(shí)分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um
一、內(nèi)部結(jié)構(gòu)
x熒光光譜測(cè)厚儀機(jī)型很多,但是其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如果先天不足,后期的外部結(jié)構(gòu)無論自動(dòng)化多高,也無法完全滿足客戶需求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)重要的3點(diǎn):
1、x熒光發(fā)射和ccd觀測(cè)是否同步和垂直?
2、測(cè)試樣品是否可以變化測(cè)頭到樣品的距離?
3、x光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散情況。
二、各種內(nèi)部結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)
1、x熒光發(fā)射和ccd觀測(cè)樣品只有同步且垂直才不會(huì)因?yàn)闃悠返母叩蜕顪\變化而改變測(cè)試到樣品的位置,才能-定位-,同時(shí)減少與探測(cè)器或計(jì)數(shù)器的夾角,夾角小測(cè)試時(shí)
受樣品曲面或者傾斜影響小。
2、測(cè)試樣品距離可變化才能測(cè)試高低不平帶凹槽的樣品工件,同時(shí)也-好平面樣品的測(cè)試。但是它需要配備變焦鏡頭和變焦
補(bǔ)償射線的算法。
3、x光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散過于-會(huì)導(dǎo)致無法測(cè)試樣品工件上較小的平面位置,如果減小出口準(zhǔn)直器直徑,又會(huì)-耗損x光的強(qiáng)度。
因此一臺(tái)此類儀器的小準(zhǔn)直器不是關(guān)鍵,但是測(cè)試面積卻是個(gè)重要的指標(biāo)。
一六儀器 測(cè)厚儀 多道脈沖分析采集,-efp算法 x射線熒光鍍層測(cè)厚儀
應(yīng)用于電子元器件,led和照明,測(cè)厚儀,家用電器,通訊,汽車電子領(lǐng)域.efp算法結(jié)合-定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題
上照式:通常都有z軸可移動(dòng),所以可對(duì)形狀復(fù)雜的樣品如凹面內(nèi)做定位并且測(cè)試,一般可定位到2mm以內(nèi)的-,如thick800a,另外有些廠商在此基礎(chǔ)上配備了可變焦裝置,搭配-的算法,可定位到80mm以內(nèi)的-,如xdl237
下照式:通常都沒有z軸可移動(dòng),所以不可對(duì)凹面等無法直接接觸測(cè)試窗口的位置進(jìn)行定位并測(cè)試,但操作簡(jiǎn)單,造價(jià)相對(duì)低;部分廠商或款式儀器搭載變焦裝置也可測(cè)試復(fù)雜形狀樣品,同時(shí)也抬高了價(jià)格
一六儀器 測(cè)厚儀 多道脈沖分析采集,-efp算法 x射線熒光鍍層測(cè)厚儀
應(yīng)用于電子元器件,led和照明,家用電器,通訊,汽車電子領(lǐng)域.efp算法結(jié)合-定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題
薄膜是指在基板的垂直方向上所堆積的1~104的原子層或分子層。在此方向上,薄膜具有微觀結(jié)構(gòu)。
理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之間的距離。由于薄膜僅在厚度方向是微觀的,其他的兩維方向具有宏觀大小。所以,表示薄膜的形狀,涂層測(cè)厚儀,一定要用宏觀方法,即采用長(zhǎng)、寬、厚的方法。因此,膜厚既是一個(gè)宏觀概念,又是微觀上的實(shí)體線度。
由于實(shí)際上存在的表面是不平整和連續(xù)的,而且薄膜內(nèi)部還可能存在著-、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等,所以,要嚴(yán)格地定義和測(cè)量薄膜的厚度實(shí)際上是比較困難的。膜厚的定義應(yīng)根據(jù)測(cè)量的方法和目的來決定。
-模型認(rèn)為物質(zhì)的表面并不是一個(gè)抽象的幾何概念,測(cè)厚儀,而是由剛性球的原子分子緊密排列而成,是實(shí)際存在的一個(gè)物理概念。
形狀膜厚:dt是接近于直觀形式的膜厚,通常以u(píng)m為單位。dt只與表面原子分子有關(guān),并且包含著薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響;
膜厚:dm反映了薄膜中包含物質(zhì)的多少,通常以μg/cm2為單位,油漆測(cè)厚儀,它消除了薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的影響如缺陷、-、變形等;
物性膜厚:dp在實(shí)際使用上較有用,而且比較容易測(cè)量,它與薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)和外部結(jié)構(gòu)無直接關(guān)系,主要取決于薄膜的性質(zhì)如電阻率、透射率等。