技術(shù)參數(shù)
-光源：紫外led光源波長：365nm;
-面積：4英寸、6英寸可選；
-方式：單面接觸式定時-；
-分辨率：2um；
-強(qiáng)度：20~200mw/cm2可調(diào)；
-不均勻性：≤5%；
光源平行性：≤2°；
光源壽命：***20000h；
電源輸入：ac220v±10v，50hz
功率：250w
重量：25kg
外形尺寸：382長*371寬*435高
工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %
頂旭蘇州微控技術(shù)有限公司是一家-于微流控領(lǐng)域的-企業(yè)，我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等quan面的微流控解決方案。公司團(tuán)隊(duì)擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)積累，持續(xù)將專ye知識與-思維相結(jié)合，為客戶提供高pin質(zhì)的解決方案。
-操作步驟
1、安裝硅片：將待-硅片平放在設(shè)備的載臺上，-位置準(zhǔn)確。
2、放置光刻板：將光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平穩(wěn)。
3、設(shè)定-參數(shù)：使用控制面板設(shè)置-時間和強(qiáng)度，根據(jù)具體需求進(jìn)行調(diào)整。
4、啟動-：確認(rèn)參數(shù)設(shè)定無誤后，-啟動按鈕，設(shè)備將開始進(jìn)行-。
5、監(jiān)控-過程：在-過程中，您可以通過設(shè)備界面監(jiān)控-進(jìn)度，-一切順利進(jìn)行。
6、-完成：-結(jié)束后，顯影機(jī)，設(shè)備會發(fā)出提示，取出硅片和光刻板。
使用方法該設(shè)備操作簡單，易于上手，具體操作如下：
一、-前準(zhǔn)備工作
1、硅片處理：-待-硅片經(jīng)過勻膠處理，表面干凈平整，沒有明顯的污漬或破損。
2、選擇光刻板：根據(jù)項(xiàng)目需要，選擇合適尺寸的光刻板，本設(shè)備兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、設(shè)備檢查：仔細(xì)檢查設(shè)備，-所有部件處于正常工作狀態(tài)，-操作環(huán)境-。
頂旭蘇州微控技術(shù)有限公司是一家-于微流控領(lǐng)域的-企業(yè)，我們致力于為客戶提供微流控芯片定制、表面修飾改性、微流控芯片加工設(shè)備、以及微流控儀器等全mian的微流控解決方案。
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