其他條件不變，顯影液的濃度越高，溫度越高，光刻板，則膠片的高密越高。如果用國(guó)產(chǎn)的顯影液(例如：愛比西sh-1000)沖洗膠片，一般要將藥液按1：4～1：3稀釋，要注意顯影溫度設(shè)定過高會(huì)使顯影液因蒸發(fā)、氧化速度過快而失效，造成菲林灰霧度過高，同時(shí)高密達(dá)不到要求。溫度為34～36℃，并且要在顯影溫度穩(wěn)定且達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)再測(cè)密度和做線性化。

菲林在使用中需注意的事項(xiàng)

激光照排菲林中含有防光暈層，在定影、水洗的過程中有一些會(huì)脫落，在片基上形成淡藍(lán)色的水斑，可在定影液中加入適量的堅(jiān)膜劑消除。水洗槽要經(jīng)常保持清潔，每天在工作結(jié)束后要將水槽中的水放掉，用干凈的紗布擦干。每次加水之前要先將水放掉一些以除掉水銹，每周至少要堅(jiān)持清洗水輥一次。

接觸光刻技術(shù)中使用的掩模的表面特征圖案的尺寸與實(shí)際掩模的尺寸相同。i在襯底上形成的圖案是1∶1，并且以直接接近光致抗蝕劑層表面的方式-i光線；另一方面，縮微技術(shù)中使用的掩模具有表面特征圖案的實(shí)際尺寸。i在襯底上形成的圖案的幾次通過光學(xué)系統(tǒng)投影模式-i光明。

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